基于电磁仿真的冷坩埚电源参数优化
王泽学, 李玉松, 龙浩骑, 明玉周
Research on Parameter Optimization of Cold Crucible Power Supply Based on Electromagnetic Simulation
WANG Zexue, LI Yusong, LONG Haoqi, MING Yuzhou
电子科技
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2024, (11): 70
-77
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DOI: 10.16180/j.cnki.issn1007-7820.2024.11.010