基于电磁仿真的冷坩埚电源参数优化
王泽学, 李玉松, 龙浩骑, 明玉周
Research on Parameter Optimization of Cold Crucible Power Supply Based on Electromagnetic Simulation
WANG Zexue, LI Yusong, LONG Haoqi, MING Yuzhou
电子科技 . 2024, (11): 70 -77 .  DOI: 10.16180/j.cnki.issn1007-7820.2024.11.010