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硅基3C-SiC薄膜的外延生长技术

李跃进;杨银堂;贾护军   

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  • 出版日期:2000-02-20 发布日期:2000-02-20

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Authors   

  • Online:2000-02-20 Published:2000-02-20

摘要: 用常压化学气相淀积法在(100)Si衬底上异质外延生长了3C-SiC薄膜。为减少3C-SiC与硅之间的晶格失配,在化学气相淀积系统中通过对硅衬底表面碳化制备了缓冲层,确定了形成缓冲层的最佳条件。用X-射线衍射、俄歇电子能谱、扫描电镜对薄膜的特性进行了分析。结果表明,1300℃下在Si衬底缓冲层上可以获得3C-SiC单晶。(作者单位:西安电子科技大学 微电子所 陕西 西安 710071)

关键词: 碳化硅, 缓冲层, 化学气相淀积, 外延生长

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中图分类号: 

  • TN304.0