远程控制在MOCVD系统中的设计与应用

远程控制在MOCVD系统中的设计与应用

胡荣旭;李存志;吴振森

(西安电子科技大学理学院,陕西西安 710071)

收稿日期:1900-01-01 修回日期:1900-01-01 出版日期:2005-04-20 发布日期:2005-04-20

Remote control in industrial automation

HU Rong-xu;LI Cun-zhi;WU Zhen-sen

(School of Science, Xidian Univ., Xi'an 710071, China)

Received:1900-01-01 Revised:1900-01-01 Online:2005-04-20 Published:2005-04-20

摘要/Abstract

摘要： 结合传统的工业控制模型和最新的计算机网络技术，给出了基于TCP协议的远程控制模型和工业解决方案，并进一步给出了在研制的生长GaN材料的金属有机化学蒸发沉积物(MOCVD)设备中的应用，经过试用，取得了良好的应用效果．

关键词: 远程控制, 工业控制, TCP, 金属有机化学蒸发沉积物(MOCVD)

Abstract: The model for the remote control system and industry project are designed based on the TCP protocol by combining the traditional industry control model with computer network technology and its application in the MOCVD device control system are given. A better application effect can be obtained by testing.

Key words: remote control, industry controlTCP, MOCVD

中图分类号:

TP273

胡荣旭;李存志;吴振森. 远程控制在MOCVD系统中的设计与应用[J]. J4, 2005, 32(2): 253-255.

HU Rong-xu;LI Cun-zhi;WU Zhen-sen.

Remote control in industrial automation

[J]. J4, 2005, 32(2): 253-255.

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