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高温半导体压力传感器技术

韩小亮;朱作云;李跃进   

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  • 出版日期:2001-02-20 发布日期:2001-02-20

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Authors   

  • Online:2001-02-20 Published:2001-02-20

摘要: 介绍了高温半导体压力传感器的应用和国内外研究发展现状,论述了几种主要的高温半导体传感器的工作原理和关键技术,比较了不同的传感器结构和制作工艺之间的优缺点,重点介新型的SiC高温压力传感器。

关键词: 高温, 压力传感器, 碳化硅

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中图分类号: 

  • TN354