GaN薄膜外延过程的动力学蒙特卡洛仿真
冯兰胜;过润秋;张进成
Kinetic Monte Carlo simulation of GaN epitaxy
FENG Lansheng;GUO Runqiu;ZHANG Jincheng
西安电子科技大学学报 . 2016, (3): 167 -171 .  DOI: 10.3969/j.issn.1001-2400.2016.03.029

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