基于自对准和空气桥工艺的SiGe HBT研究

Study of the SiGe HBT based on the self-alignment and air-bridge

LIU Dao-guang1;2;3;HAO Yue1;XU Shi-liu2;3;LI Kai-cheng2;3;LIU Yu-kui2;3;LIU Rong-kan2;3;ZHANG Jing2;3;HU Hui-yong1 LI Pei-xian1;ZHANG Xiao-ju1;XU Xue-liang2;3

J4 . 2005, (3): 432 -434 .

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