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功率对制备β-FeSi2薄膜的影响
胡维前,张晋敏,邵飞,卢顺顺,贺晓金,谢泉
Impact of Power on the Preparation of βFeSi2 Films
HU Weiqian,ZHANG Jinmin,SHAO Fei,LU Shunshun,HE Xiaojin,XIE Quan
. 2015, (
5
): 111 .
