一种单轴MEMS陀螺仪信号处理电路设计

›› 2011, Vol. 24 ›› Issue (10): 7-.

一种单轴MEMS陀螺仪信号处理电路设计

熊飞,杨荣彬

(成都国腾电子技术股份有限公司新产品事业部,四川成都 610041)

出版日期:2011-10-15 发布日期:2011-10-24
作者简介:熊飞(1980—),男,硕士,工程师。研究方向:MEMS传感器信号处理电路。
基金资助:
成都市高新区重点科技创新计划基金资助项目

Design of a Single-Axis MEMS Gyroscope Signal Process Circuit

XIONG Fei, YANG Rong-Bin

(New Products Unit,Chengdu Goldtel Electronic Technology Co.,Ltd.,Chengdu 610041,China)

Online:2011-10-15 Published:2011-10-24

摘要/Abstract

摘要：

以MEMS陀螺仪传感器为基础,设计了一种闭环驱动开环检测的单轴MEMS陀螺仪信号处理电路。采用时域分析方法,对MEMS陀螺仪闭环驱动环路进行了稳定性分析,并提出了一种对等效电容共模部分不敏感的CV转换结构。结果显示,线性度＜±0.5%、功耗＜150 mW、ADC分辨率＞11 bit。

关键词: 微机械陀螺仪;闭环驱动;电容电压转换

Abstract:

A single-axis MEMS gyroscope signal process circuit is designed based on a MEMS sensor.Stability of the closed-loop drive circuit is analyzed in time domain.A switched-capacitor CV-converter which is not sensitive to common section of the sensor capacitor is proposed.Results indicate that the linearity is smaller than ±0.5%,power consumption smaller than 150 mW and resolution of ADC greater than 11 bits.

Key words: MEMS gyroscope;close-loop drive;CV converter

中图分类号:

TN492

熊飞, 杨荣彬. 一种单轴MEMS陀螺仪信号处理电路设计[J]. , 2011, 24(10): 7-.

XIONG Fei, YANG Rong-Bin. Design of a Single-Axis MEMS Gyroscope Signal Process Circuit[J]. , 2011, 24(10): 7-.

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