摘要:
在基于LabVIEW晶体生长检测系统中,基于最小二乘法曲线拟合原理和单晶硅生长特性,运用图形化编程语言对采集的单晶硅生长信息图进行图像处理,对部分“释热光环”进行圆弧拟合,由拟合出的圆进行晶体生长直径检测。实验表明,该设计能够很好地完成圆弧拟合,实现对单晶硅的生长直径检测,符合系统检测要求。
中图分类号:
白雨, 程光伟. 基于LabVIEW晶体生长检测系统的圆弧拟合技术[J]. , 2011, 24(9): 91-.
BAI Yu, CHENG Guang-Wei. Arc Fitting Technology for Crystalloids Growth Detection System Based on LabVIEW[J]. , 2011, 24(9): 91-.