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MEMS电容式压力传感器检测电路比较研究
黄雨濛,戚昊琛,胡智文,张鉴
Research on Detection Circuits for MEMS Capacitive Pressure Sensor
HUANG Yumeng,QI Haochen,HU Zhiwen,ZHANG Jian
. 2015, (
1
): 186 .
