基于ICP的硅高深宽比沟槽刻蚀技术

基于ICP的硅高深宽比沟槽刻蚀技术

展明浩, 宋同晶, 皇华, 王文婧, 陈博

Study of High Aspect Ratio Silicon Trench Etching Based on ICP

ZHAN Ming-Hao, SONG Tong-Jing, HUANG Hua, WANG Wen-Jing, CHEN Bo

. 2012, (8): 77 .